AURION ANLAGENTECHNIK GMBH

AURION Anlagentechnik GmbH - Technologia plazmowa = Systemy plazmowe + Komponenty HF, firma AURION Anlagentechnik GmbH powstała z trzech przedsiębiorstw pod koniec 1996 r. Pomysł powstania firmy dotyczył wytwarzania komponentów i kompletnych systemów obróbki powierzchni, które byłyby wydajne, ekonomiczne i przyjazne dla środowiska. AURION opracowuje i wytwarza komponenty do zasilania systemów plazmowych. Do nich należą sieci dopasowujące impedancję z jednostkami autotuningu, a także filtry, przełączniki, przesuwniki fazowe, dzielniki mocy, przewody, kable i złącza. Mocnym punktem jes skupianie się na procesach plazmowych wysokiej częstotliwości, odpowiednio 13, 56 i np. 27, 12 MHz. Opierając się na wiedzy fachowej i doświadczeniu w dziedzinie budowy komponentów, AURION oferuje również kompletne systemy do obróbki powierzchniowej plazmowej tj. do czyszczenia i modyfikacji powierzchni, jak również do procesów powlekania i trawienia (PVD, PECVD, RIE, mikrofale).